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微透鏡:魔技納米的微透鏡陣列制造技術(shù)

更新時(shí)間:2026-08-24點(diǎn)擊次數(shù):36
微透鏡是指直徑在微米至毫米量級(jí)的微型光學(xué)透鏡,通常以陣列形式集成使用,構(gòu)成微透鏡陣列。單個(gè)微透鏡的功能與傳統(tǒng)透鏡類似——對(duì)入射光進(jìn)行匯聚、發(fā)散或準(zhǔn)直,但當(dāng)大量微透鏡以規(guī)則排列組成陣列時(shí),便具備了傳統(tǒng)單透鏡難以實(shí)現(xiàn)的光場(chǎng)調(diào)控能力。微透鏡陣列不僅具有傳統(tǒng)透鏡的聚焦、成像等基本功能,而且具有單元尺寸小、集成度高的特點(diǎn),能夠完成傳統(tǒng)光學(xué)元件無(wú)法完成的功能。

魔技納米在微透鏡制造領(lǐng)域采用的技術(shù)路線是基于多光子聚合的飛秒激光直寫技術(shù)。與傳統(tǒng)微透鏡制造方法相比,這一技術(shù)路徑的優(yōu)勢(shì)在于:無(wú)需制作物理掩模版,可通過(guò)數(shù)字化設(shè)計(jì)直接“寫入”任意形狀的微透鏡結(jié)構(gòu);可實(shí)現(xiàn)球面、非球面及自由曲面的三維微光學(xué)器件制造;可充分利用高速運(yùn)動(dòng)臺(tái)及光束快速偏轉(zhuǎn)結(jié)合的方式進(jìn)行加工。

在具體加工能力方面,魔技納米利用自研的三維納米制造系統(tǒng),可在二氧化硅基板上實(shí)現(xiàn)直徑20微米、精度±0.3微米的微透鏡陣列加工。通過(guò)實(shí)時(shí)焦點(diǎn)補(bǔ)償算法克服曲面形變問(wèn)題,在8英寸晶圓上可實(shí)現(xiàn)位置重復(fù)精度±50納米。公司還可加工任意三維形狀的組合微鏡等折射元件,以及透鏡陣列、光柵、勻光片等衍射光學(xué)元器件和模板的定制化制造。

魔技納米的微透鏡制造能力覆蓋了多種透鏡類型。公司的無(wú)掩膜光刻設(shè)備可用于加工分辨率板、微透鏡、衍射元件、錐面微透鏡、菲涅爾透鏡等。高性能無(wú)掩膜光刻設(shè)備支持從納米級(jí)到十微米級(jí)的多種加工模式,適用于高達(dá)12英寸的基材。在三維微納尺寸光刻膠產(chǎn)品方面,公司開發(fā)的光刻膠可廣泛用于光波導(dǎo)、微透鏡、微流體、超材料及生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。

微透鏡陣列在集成光路、光通信、成像系統(tǒng)等領(lǐng)域具有應(yīng)用價(jià)值。魔技納米的微納光學(xué)加工服務(wù)可用于制造三維光子晶體、微透鏡陣列、光波導(dǎo)耦合器及超材料等,這些器件是下一代光通信和量子計(jì)算的核心元件。公司還利用微納光學(xué)技術(shù)生產(chǎn)超薄導(dǎo)光膜,這是一種用于電子產(chǎn)品背光的新型導(dǎo)光器件,可取代LCD和移動(dòng)智能終端上背光模組中的導(dǎo)光板,有助于降低背光模組的厚度和成本。 
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