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無掩膜光刻設備
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UV-Smart專為實驗室科研需求和小批量生產設計。適用于實驗室環境，并具有高直寫速度、高分辨率和高對準精度等特點。
UV-Ultra采用優良的超高速加工方式，采用自研算法和高性能硬件，實現更高的對準、拼接和套刻精度。
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