2026-65
無掩膜光刻是一類不依賴物理掩模版實現圖形轉移的光刻技術的統稱。在半導體行業邁入極紫外光刻時代的同時，無掩膜方案因其在靈活性、成本和快速響應方面的優勢，在眾多應用場景中展現出獨特的競爭力。從廣義上講，激光直寫、電子束光刻和基于空間光調制器的數字光刻都屬于無掩膜光刻的范疇。一方面，通過掩模版進行一次曝光即可完成整個晶圓上百萬個芯片的圖形轉移，生產效率；另一方面，掩模版的制造成本隨節點精進而急劇攀升，一套先進節點的掩模版組費用可達數百萬美元，而且任何設計修改都需要重新制版。這種經濟...
查看更多2026-65
激光直寫是一種無需掩模版的微納加工技術，它通過聚焦的激光束在感光材料表面直接寫入所需的圖形結構。與依賴掩模版的傳統投影光刻相比，激光直寫在原型制作、小批量生產和復雜三維結構加工方面具有獨特的靈活性，被認為是光刻技術從“硬掩模”走向“數字光刻”的重要體現。激光直寫系統的核心部件包括激光光源、光束掃描機構和精密位移平臺。光源的波長決定了可達到的最小特征尺寸，根據衍射極限原理，聚焦光斑直徑與激光波長成正比。因此，深紫外激光器能夠獲得更細的線寬，而可見光或近紅外激光則適用于微米尺度的...
查看更多2026-65
微納加工技術是指特征尺寸在亞微米至納米量級的結構加工方法，它是現代微電子、微機電系統和光子學器件制造的技術基石。與傳統的宏觀機械加工不同，微納加工涉及的尺度接近甚至小于光波的波長和電子的平均自由程，許多宏觀尺度下可忽略的物理效應變得至關重要，這也決定了微納加工所采用的技術路線有著本質上的特殊性。光刻技術是微納加工的核心環節。它通過輻照源對感光材料進行選擇性曝光，將掩模版上的圖形轉移到光刻膠上。深紫外光刻使用193納米波長的光源，配合浸沒式技術和多重曝光方案，能夠實現7納米乃至...
查看更多2026-65
微透鏡是指直徑在幾微米到幾百微米之間的微型光學透鏡。盡管尺寸微小，但多個微透鏡按一定規律排列形成的微透鏡陣列，在光束整形、波前傳感、三維成像和光場調控等領域。微透鏡陣列能夠將大尺寸的光束分割為多個子光束，每個微透鏡獨立完成對局部波前的會聚或準直，從而實現整體光場的操控。從光學設計角度看，微透鏡可分為折射型和衍射型兩大類。折射型微透鏡依靠表面曲率對光線產生折射作用，其面型通常為球面或非球面；衍射型微透鏡則利用表面浮雕結構的光柵效應實現聚焦，常見的有菲涅耳透鏡和二元光學元件。在實...
查看更多2026-65
在半導體產業不斷逼近物理極限的今天，芯片互聯技術已成為決定電子系統性能的關鍵環節。所謂芯片互聯，指的是芯片內部、芯片與芯片之間、以及芯片與外部電路之間的信號、電力和熱量傳輸通道。隨著摩爾定律的步伐放緩，單純依靠縮小晶體管尺寸來提升性能的路徑正變得愈發艱難，而互聯技術的創新則被視為延續計算能力增長的重要突破口。從歷史發展來看，芯片互聯經歷了從鋁線到銅線的材料升級，從單層金屬到多層堆疊的結構演變。傳統的引線鍵合技術曾是主流，通過細金線或銅線將芯片引腳與封裝基板連接。但這種技術在信...
查看更多2026-63
什么是雙光子聚合雙光子聚合（Two-PhotonPolymerization，TPP）是一種基于非線性光學效應的微納3D打印技術。它利用飛秒激光脈沖在光敏樹脂內部聚焦，通過雙光子吸收過程引發局域聚合反應，從而能夠加工出遠小于激光衍射極限的特征尺寸，并實現真正的三維自由曲面結構。與傳統的單光子光刻不同，雙光子聚合的激發幾率與光強的平方成正比，因此聚合區域被嚴格限制在焦點中心的極小體積內——這一體積通常稱為“體素”，其尺寸可達百納米甚至更小。物理原理簡述在常規的紫外光刻中，光子的...
查看更多2026-63
無掩膜光刻（MasklessLithography）是一類不依賴物理掩模版實現圖形轉移的光刻技術的統稱。它通過數字化的圖形發生器——通常為空間光調制器或掃描激光系統——將設計圖案直接投射或繪制于光刻膠表面。這種方法在降低前期投入、縮短研發周期和支持高混合生產方面展現出價值。技術路線分類目前商業化和科研領域常見的無掩膜光刻系統主要包含以下幾種技術路線：第一類是基于數字微鏡器件（DMD）的投影式無掩膜光刻。DMD由數百萬個微米尺度的可偏轉鏡面組成，每個鏡面代表一個像素。經過紫外光...
查看更多2026-63
在微納加工領域，激光直寫技術（LaserDirectWriting，LDW）作為一種靈活、高效的加工方法，近年來受到廣泛關注。該技術無需傳統光刻所需的掩模版，通過聚焦激光束直接在光敏材料表面進行圖案化曝光，為快速原型制作、小批量生產和科研探索提供了重要手段。基本原理激光直寫技術的核心在于將激光束經物鏡聚焦成微小光斑，通過控制光束與樣品的相對運動軌跡，在光刻膠或其他光敏層上逐點、逐線地繪制出所需圖形。完成曝光后，經過顯影等后處理步驟，即可在基片上獲得圖案化的微結構。根據激光與材...
查看更多
當前位置：
