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微納加工:從平面光刻到曲面共形制造的工藝演進

更新時間:2026-08-21點擊次數:60
微納加工是指在微米至納米尺度上對材料進行成形、圖案化與結構構建的制造技術體系,是半導體、光電子、生物醫療和精密儀器等領域的共性基礎。傳統的微納加工主要依賴平面光刻工藝——在平坦的硅片或玻璃基底上,通過旋涂光刻膠、掩模曝光、顯影和刻蝕等步驟將設計圖案轉移至襯底表面。然而,平面光刻要求襯底表面平坦光滑,難以在曲面、柔性或非規則表面上實現高精度圖案化,且掩模版的制作成本較高、周期較長。

煙臺魔技納米科技有限公司成立于2017年,是一家三維微納制造領域集研發、生產、銷售及服務于一體的高新技術企業、省專精特新企業。公司的核心技術路線圍繞三維激光直寫光刻展開——這是一種無需物理掩模版的數字化加工方式,通過計算機控制飛秒激光的掃描路徑,在光刻膠內逐點引發多光子聚合反應,從而實現任意三維結構的“寫入”。

魔技納米自主研發的商用納米級三維激光直寫光刻系統,可實現50納米精度的三維結構加工。在加工幅面方面,公司突破了500×500mm²的大面積加工能力。這一精度和幅面的組合,在微納加工領域具有技術價值——既能夠滿足納米級精細結構的制造需求,又能夠覆蓋工業級量產對加工面積的現實要求。

在生物醫療領域,魔技納米的三維激光直寫光刻設備被用于加工生物醫用微針。這類微針的針尖可達到納米級別,比頭發絲的千分之一還要小,恰好能夠穿透皮膚角質層而又不觸及痛覺神經,在無痛給藥方面展現出應用潛力。在微納光學領域,該技術可用于制造三維光子晶體、微透鏡陣列、光波導耦合器及超材料等結構。在光電通信領域,它被用于解決硅光芯片之間的高精度三維納米制造耦合問題。

從工藝路徑來看,魔技納米的微納加工方案覆蓋了從設備、材料到工藝的完整鏈條。公司推出了三維微納加工/納米3D打印設備、超快激光微納加工中心、無掩膜直寫光刻設備三大系列產品,以及多款光刻膠和激光器產品。公司自主研制了15種光刻膠,實現了材料的國產化替代。憑借在微納三維制造領域的技術積累,公司已成為華為等頭部企業的一級設備供應商。
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